> 碳化硅陶瓷加工
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采用传统机械加工方法研究了碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量的影响,指出碳化硅陶瓷密度对光学镜面加工质量有一定影响,但在一定密度范围内,通过改善光学镜面加工工艺均可得到较好的表面质量。
通过对加工机理的分析得出,在碳化硅陶瓷光学镜面加工过程中,材料去除方式与磨粒尺寸有关,选择适当的磨粒尺寸可实现材料去除方式由晶粒去除向延性去除的转变,从而有效地降低表面粗糙度。
1引言碳化硅材料具有一系烈优良的物理化学性能，如较高的弹性模量、适中的密度、较小的热膨胀系数、较高的导热系数和耐热冲击性、高的比刚度、高度的尺寸稳定性、热性能与机械性能各向同性及高反射性能等，是各种高性能、特殊环境应用镜片的理想材料，正逐步取代传统材料应