> 碳化硅加工流程
介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。
按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。
介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。
展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。
给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。
1 引 言碳化硅是20世纪70年代发
一 加工厂地理位置及基本情况：
>兰州津成炉料厂位于甘肃省兰州市榆中县三角城王家营岳家庄，西距离兰州市区38公里，南距离榆中县城3公里，北距离夏官营火车站4公里，许家台火车站7公里，东距离巉柳高速公路三角城出口3公里，并且距离酒钢集团榆中钢厂
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