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介绍了集精密机械技术、精密测试技术和智能反馈技术于一体的压电陶瓷驱动六自由度并联微动机器人，该微动机器人采用以压电陶瓷为驱动元件和弹性支撑并联机器人的结构形式，具有高频响、高分辨率、结构紧凑、刚度大等优点，实现了机构、驱动、检测一体化，达到纳米级定位精度，是微驱动技术与并联机器人交叉结合的成功尝试。
一、引言随着科学技术的发展，许多领域越来越迫切地需要微型系统或微动系统，如生物细胞、聚合物的各种操作，微外科手术，扫描探针显微镜SPM，光纤对接，微细加工等。
由于压电陶瓷微位移器具有体积小、分辨率高、频响高和无发热等优点，是理想的微位移器件，因
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