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一种制取纳米二氧化钛石英砂的设备及方法[技术摘要]本发明涉及一种制取纳米二氧化钛石英砂的设备及方法。
本发明所述的设备是:
真空炉体卧式水平安装在基座上;在真空炉体上方炉壁上安装有多弧源总成,在真空炉体下方内部安装有导槽;在真空炉体左侧上方设有一个Y型进砂管;在真空炉体右侧下方设有一个Y型出砂管。
利用上述设备制取纳米二氧化钛石英砂的方法是:
先在石英砂表面通过物理气相沉积钛金属以后,在空气中加热氧化成二氧化钛,通过上述设备可以连续自动化地在石英砂表面物理气相沉积金属钛。
本发明与