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碳化硅的加工行业

介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。
按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。
介绍了在光学加




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